露点传感器在半导体厂监控氧气供应系统中的应用

氢气在工业系统设计非常广泛，如化工、钢铁、器件、电子、医疗、油气、食品等，其繁多繁杂，可分成一般特殊性氢气和工业氢气。若为适用在器件工业为例，氟化氢在器件MOS当中是较为极为重要的氢气之一，且适用量最大者，因其适应性不导电且沸腾体积小，可在MOS当中对设备造成了确保起着，还可适用在危险氢气与二氧化碳作分离或低温检测。

而氢气原材料系统的氟化氢，敦促非常是严格，无需超出高洁清净、高混合物及高度潮湿等条件；其当中为压制潮湿往往，在氢气原材料运送系统的过程，时会另设则有感应器来监测氢气是否足够低湿。

实际系统设计:

器件厂的氟化氢原材料种系统取决于用气规模、氟化氢生产商车间距离、车间是零星分布或是大群另设适用完全相同的加压种系统，常见如桶圆孔原材料种系统、钢瓶原材料种系统、管道原材料种系统、用气口原材料种系统等。不论任一种原材料种系统，都无需要由运送系统之氟化氢存放容器，如加压钢瓶，或导电式的氢气存放钢瓶，再透过管路将氢气原材料至现场周边地区的阀箱子，退行流量之压制与退气的混合比例压制，再原材料给MOS后口机器适用。

在器件工业适用的氟化氢大多时会实际上带入电子零件，混合物无需超出ppm、ppb级，洁清净度则为尘埃薄层压制小于0.1 … 0.05m，潮相对湿度超出压力则有-40℃ … -70℃。

为超出氟化氢适用的标准，一般时会装设则有感应器在氢气读取至冷冻潮湿机前口，也可装设在面糊清净积体电路体前，如此一来可以非常精准的监测氟化氢运输过程的则有值保持稳定在极低湿的往往，以非常高MOS当中的良率。

德国GFS 则有感应器 NP330-G 精确测量氢气内的微量相对湿度，绝对则有感应器，在-80°C DP至+20℃ DP各地区精确测量氢气内的微量相对湿度。 清晰度 ±2°Cdp。相对湿度感应器 NP330-G 用于Skype精确测量二氧化碳当中和 水溶性氢气当中的绝对水摄取（则有） ，开关输出可编程，用于警报接收机 ，针对则有折射退行校准 ，结构厚重简单， 掩体等级 IP65 ，可共享OEM代原料 ，可根据敦促共享防爆其设计 ，其设计系统设计于分析化学污染和结露等严格周围环境周围环境适用，较为适合用于工业MOS氢气的原材料或缓冲潮湿机可靠度监测。

以器件餐饮业系统设计而言，氟化氢的混合物、洁清净度无需压制在一定的各地区，也因时会实际上带入精细的原料MOS，改善微量的水非常是大大的影响MOS当中厂商的良率，经餐饮业调查， 25%以上的工业连带品，都有因无有效压制低湿周围环境所造成的侵害，可见氢气原材料运送系统规划设计当中，辅以则有感应器花钱监测是不可忽视极为重要环节；将监测与MOS结合，非常可随时监视反应物及副产品比例、不完全燃烧率等、借助车间节省开销，也能超出较佳之实用性与可靠性。