ASML柏林火灾更新：DUV 直通正常，部分 EUV 系统受到影响

ASML本周问到，其深紫外(DUV)和极紫外抛光(EUV)直通都受到了受到影响。但是DUV的系统能够回复的人口众多，EUV的系统仅仅位处离直通情形下。

在上周遭遇倒塌后，ASML备有了其坐落于丹麦法兰克福的厂损伤情形的最新的信息。

荷兰半导体积体电路日本公司是全球最大的抛光的系统供可不商；备有用于制造集成电路的机器。该日本公司本周问到，其深紫外(DUV)和极紫外抛光(EUV)直通都受到了受到影响。但是DUV的系统能够回复的人口众多，EUV的系统仅仅位处离直通情形下。

ASML对该惨案开展了初步检验：它说倒塌遭遇在法兰克福录影的一栋生产厂教学大楼中，烟雾一小受到影响了邻的外墙。

“我们早就能够在这些外墙的某些一小回复生产厂。其他外墙未受到受到影响，并且可以无论如何投入使用，”该日本公司在新的增中问到。

虽然对损坏的受到影响检验仍在开展中，但ASML问到，DUV部件的部件出现了一些停止，但生产厂早就重新的开始，不可不受到影响方案的开采量。

然而，该日本公司指出，倒塌可能受到影响了其EUV的系统封装夹具的一小生产厂范围。

“我们仍在完毕该生产厂范围的回复方案，并考虑到如何在我们的输出方案和录影服务中能避免对我们的EUV消费者的任何潜在受到影响。”

ASML将于1月19日发布其第四季度和2021年累计业绩，预计将备有有关该惨案的进一步新的增。

法兰克福厂（在ASML收购BerlinerGlas时在2020年收购）为ASML的抛光的系统制造部件，包括封装台和夹具、光罩卡盘和反射镜块。关于该惨案的细节很少，但法兰克福消防行政部门问到，坐落于法兰克福新的克尔恩地区布里扎内区的WaldkraiburgerStrasse的一栋三层“工业”公共建筑二楼的一个200平方米的则会洗手的系统着火了。