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业界称三星电子正研发转用碳化硅聚焦环的新材料 碳化硼成有力备选方案

2025-11-13 12:19

财联社3月2日电，三星集团电子将要研发取代金刚石(SiC)展示出的环(Focus Ring)的新材料。业界消息指出，硬度表现优异的碳化硼(B4C)成为三星集团强力备选计划。三星集团为将B4C打造成新锐展示出的环材料，将要开展方面研发。展示出的环在矽新兴产业中，主要用于硅片蚀刻工艺，除了能固定硅片基本上，也有持续电浆体通量、防止硅片均遭污染等功用。 (DIGITIMES)

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